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高纯氧的用途:1.高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;2.与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;3.在冶金工业中有广泛应用。还...